鍍層厚度檢測(cè)儀的基本工作原理是當(dāng)探頭接觸被測(cè)圖案時(shí)，探頭裝置產(chǎn)生的高頻電磁場(chǎng)使置于探頭下方的金屬導(dǎo)體產(chǎn)生渦流，其幅值和相位是導(dǎo)體和探頭之間非導(dǎo)電涂層厚度的函數(shù)。即渦流產(chǎn)生的交變電磁場(chǎng)會(huì)改變探頭的參數(shù)，而探頭的參數(shù)變量，通過轉(zhuǎn)換電信號(hào)可以得到涂層的厚度。
1、磁性測(cè)厚法：適用于導(dǎo)磁材料上非磁性層的測(cè)厚。導(dǎo)磁材料一般為鋼、銀、鎳。該方法測(cè)量精度高。
2、渦流測(cè)厚法：適用于導(dǎo)電金屬上非導(dǎo)電層的測(cè)厚。這種方法比磁性測(cè)厚方法具有更高的精度。
3、超聲波測(cè)厚：適用于多層鍍層厚度的測(cè)量或以上兩種方法無法測(cè)量的場(chǎng)合。
4、電解測(cè)厚法：此法與上述三種方法不同。不屬于無損檢測(cè)，需要破壞涂層。一般準(zhǔn)確率不高。
5、輻射測(cè)厚法：這種儀器很貴，適用于一些特殊場(chǎng)合。
精度要求是鍍層厚度檢測(cè)儀不變的追求，以下這些就是影響它精度的因素：
1、當(dāng)覆土厚度大于25μm時(shí)，誤差與覆土厚度近似成正比；
2、母材的電導(dǎo)率對(duì)測(cè)量有影響，與母材材料的成分及熱處理方法有關(guān)；
3、任何測(cè)厚儀都要求母材的臨界厚度。只有大于這個(gè)厚度，測(cè)量才不會(huì)受到母材厚度的影響；
4、測(cè)厚儀對(duì)圖案測(cè)量有邊緣效應(yīng)，即靠近圖案邊緣或內(nèi)角測(cè)量不可靠
5、試樣的曲率對(duì)測(cè)量有影響，隨著曲率半徑的減小會(huì)顯著增大；
6、母材和鍍層的表面粗糙度影響測(cè)量精度，影響隨著粗糙度的增加而增大；
7、鍍層厚度檢測(cè)儀對(duì)阻礙探頭與覆蓋層表面緊密接觸的附著物敏感。因此，測(cè)量前應(yīng)清除探頭和覆蓋層表面的污垢；在測(cè)量過程中，保持探頭與測(cè)試表面恒壓垂直接觸。
更新時(shí)間：2021-11-20 
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